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请教各位同行,进入还原炉的氢气压力在多少为最佳那?

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发表于 2010-7-23 19:07:05 | 显示全部楼层 |阅读模式
请教各位同行,进入还原炉的氢气压力在多少为最佳那?
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发表于 2010-7-24 01:16:03 | 显示全部楼层
氢气压力是多少?你是要置换还是要进物料?置换3公斤就差不多了,要是生产的话也应该是三氯氢硅和氢气混合气的压力呀!一般在5-6公斤为最佳。
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发表于 2010-7-24 20:37:07 | 显示全部楼层
你系统是多少压力呀
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 楼主| 发表于 2010-7-24 22:37:28 | 显示全部楼层
你系统是多少压力呀
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我们系统压力9公斤
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