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硅棒表面长霉瘤

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发表于 2010-8-4 11:23:46 | 显示全部楼层 |阅读模式
最近我们厂出炉的硅棒表面老是长小瘤子,整根硅棒都长,而且密密麻麻挺多的,在生长过程也有,但出炉时的硅棒更多,
怎样处理这个问题呢?希望各位专家给与指导。
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发表于 2010-8-4 11:42:26 | 显示全部楼层
就是的,现在我长出路的多晶硅表面长了好多毛毛的东西,有哪位能帮个忙啊?谢谢.......
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发表于 2010-8-4 12:59:07 | 显示全部楼层
回复 2# zhangkeke
    硅棒生长温度太高了,多晶沉积不均匀造成
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发表于 2010-8-4 20:09:47 | 显示全部楼层
自己去摸索,不交学费怎么能知道怎么解决。
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