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多晶硅生产中怎么除去四氯化硅中的三氯化磷

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发表于 2008-9-27 15:45:07 | 显示全部楼层 |阅读模式
请问有谁知道多晶硅生产过程中怎么除去四氯化硅中的三氯化磷。
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-1-12 16:00 编辑 ]
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发表于 2008-9-27 20:22:59 | 显示全部楼层
多级精馏
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 楼主| 发表于 2008-9-27 20:42:57 | 显示全部楼层
四氯化碳中的三氯化磷量很少,精馏时塔釜出料量很少,控制很难呀
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发表于 2008-9-28 08:45:33 | 显示全部楼层
目前主要是靠精馏了,含量少难除去是目前的问题,只能加大理论板数,使用新型高效的分离内件,比如:丝网规整填料。
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发表于 2010-4-11 17:51:12 | 显示全部楼层
目前采用最多的就是靠精馏来除杂质,其他可能还在研究中。。。。。。请稍候。。。。。。
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发表于 2010-4-12 21:51:32 | 显示全部楼层
精馏,好像我们搞过,纯度达到6个九
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发表于 2010-4-13 01:04:25 | 显示全部楼层
多次精馏,但是效果不是很好!
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发表于 2010-4-13 07:22:01 | 显示全部楼层
目前,都是采用加压精馏的方法来除磷。
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发表于 2010-8-7 18:36:36 | 显示全部楼层
都是单独搞一个塔吗?如果是做白炭黑,三氯化磷的含量要求是多少?
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发表于 2010-8-7 20:43:14 | 显示全部楼层
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