三氯氢硅和氮气反应吗？

发表于 2010-7-27 11:02:23

大家说说
三氯氢硅和氮气到底反应吗？几家设计院给的说法也不一致
个人觉得从微观上来说氮气有微溶于三氯氢硅的可能性
但是反应这块，真的不是很明白

发表于 2010-7-27 14:21:52

在氢气氛围下，高温或者放电条件下可以生成氮化硅和氯化氢

发表于 2010-7-27 21:49:30

在氮气氛围下，高温或者放电条件下可以生成氮化硅和氯化氢

发表于 2010-7-27 21:52:32

氮气在TCS中，即使是加压下溶解的也是少之又少，不然多晶硅企业就不会使用氮气给精馏塔和产品储罐保压了。如果只有氮气和TCS，温度高到一定程度会不会有反应我不知道，因为氮氮叁键非常稳定，只有在高温下才能表现出活性，可在到达那个温度之前，TCS早已分解了…

发表于 2010-7-28 15:48:58

不可能反应的最多就是物理溶解点

发表于 2010-8-9 11:01:02

应该不会反映吧，氮气是惰性气体，一般都用在保护气体

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