还原炉进气喷嘴应该用多大的？

发表于 2010-7-5 13:47:45

我们单位目前用的是12对棒的还原炉，硅芯高度为2500mm，上部菜花比较严重，听说，有些厂家都把进气孔改成喷 ...
tdd 发表于 2010-6-29 15:18

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进氢气的孔？

发表于 2010-6-29 15:18:00

回复 11# yxxyyx
是进氢气和三氯氢硅混合气的

发表于 2010-7-10 10:09:56

这个其实自己做实验比较好，根据硅棒生长情况，硅棒表面情况，更改喷嘴。

发表于 2010-7-13 11:21:13

流体数值模拟和试验相结合吧

发表于 2010-7-14 10:24:29

回复 13# jijixiangshang
试验可以做，关键是想知道喷嘴的具体类型，是单一的直孔，还是有其他的类型？

发表于 2010-7-15 08:02:39

还原炉喷嘴一般需要用计算流体软件进行模拟以减少实验，提高效率
目前我正在做这项工作，改进我们的喷嘴（硅芯2800mm）

发表于 2010-8-9 16:19:26

呵呵，喷嘴看来很重要啊，不过我们没用的，呵呵

发表于 2010-8-9 22:33:27

要具体问题具体分析，还是自己试验比较可靠

发表于 2010-8-10 09:20:05

这个问题值得期待！

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