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多晶硅检测方法

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发表于 2010-6-23 11:24:39 | 显示全部楼层 |阅读模式
请教各位多晶硅同行能否解决以下问题:
(1)基磷、基硼检测的频率和他们的运行速度以及样品制备?
(2)少子寿命检测的样品处理方法?
(3)硅芯检测的前处理?没有喷砂可以吗?
(4)低温傅里叶变换红外光谱仪检测磷、硼、碳、氧及三、五主族金属杂质的样品处理方法和注意事项?
(5)ICP-OES检测硅粉和粗制的三氯氢硅、四氯化硅的样品处理方法和注意事项?
(6)ICP-MS检测成品硅和精制的三氯氢硅、四氯化硅的样品处理方法和注意事项?
(7)气象色谱分析氯硅烷和高纯气体的分析方法和设备的配置要求?
       说明上述分析方法中用的各种设备、材料和器皿以及他们的要求。
       有设备厂家设备的规格型号和操作规程更好。
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发表于 2010-6-23 16:19:27 | 显示全部楼层
你现在不是正在使用吗?
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 楼主| 发表于 2010-6-23 17:09:15 | 显示全部楼层
回复 2# 言月
    用的主体设备都差不多,但是方法有不同的。我想总结完善一下分析方法。很多人想要这个答案。
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发表于 2010-6-24 17:49:45 | 显示全部楼层
回复 3# cpz68868739
    哦,明白了,你真是个有心人!善于总结!要向你学习,多多总结!
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发表于 2010-6-24 20:00:32 | 显示全部楼层
真是有心,很多公司都有自己的方法,方法未必要统一,殊途同归就行。如果要统一还需要一定时间和过程磨合。
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发表于 2010-6-25 09:53:21 | 显示全部楼层
回复 5# piaowu0335
    统一的可行性不是很大,现在对于这个热行的多晶硅正处于保密时代吧?
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发表于 2010-6-25 20:27:59 | 显示全部楼层
回复 6# 言月
    :loveliness: 总有天会统一的,现在不行,需要时间的
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发表于 2010-6-26 08:42:39 | 显示全部楼层
回复 7# piaowu0335
    希望这一天快点到来!

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发表于 2010-8-13 09:19:12 | 显示全部楼层
都是靠经验的,用的仪器不一样,方法肯定也不同,根据自己的情况去摸索的,其实也没什么神秘的
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发表于 2010-8-13 10:52:11 | 显示全部楼层
制定标准吧,这样就统一了。
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