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H2在管道中的最大流速是多少?

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 楼主| 发表于 2010-7-13 19:02:00 | 显示全部楼层
同意楼上意见!像氢气这样的气体在多晶硅工艺中还是选取保守点的流速为好。
feibiao101 发表于 2010-7-21 20:29

                                
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为什么要保守点呢?H2的燃烧或**是需要条件的,在还原炉内的硅棒表面,1000多度的温度,。。。。
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发表于 2010-7-25 09:18:24 | 显示全部楼层
氢气的流速≤8米/秒,如果超过≤8米/秒,要注意消除静电。
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发表于 2010-7-21 20:29:00 | 显示全部楼层
那要看你的氢气用在什么地方
譬如合成炉也要通氢气来稀释氯化氢和降温
这是氢气的流量根据氯化氢来定,一般是小于氯化氢的10%
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发表于 2010-7-25 10:25:01 | 显示全部楼层
我计算得我们生产中氢气流速达到了12m/s
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发表于 2010-7-25 19:54:13 | 显示全部楼层
计算一下   Q=vpd*d/K
                 V=QK/pd2
大约15-20m/s
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发表于 2010-7-26 21:19:01 | 显示全部楼层
推荐你看
GB 50177-2005 氢气站设计规范
这里面有很详细的介绍 呵呵
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