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多晶硅氯气脱水单元

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发表于 2010-8-18 14:37:59 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位坛友,谁知道国内多晶硅氯气脱水单元的生产厂家是哪些?哪家的好一点?
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发表于 2010-8-18 15:28:35 | 显示全部楼层
这个设计院会设计的吧,很成熟的工艺了
里面就除雾器的选择比较主要,选择孟蒙克的应该比较多
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发表于 2010-8-19 13:52:00 | 显示全部楼层
现在氯气脱水用的最多的是变温吸附法,有四川的达科特和赛普瑞星,其中达科特已经在全国的多晶硅厂里做了十几套。
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发表于 2010-8-20 10:41:37 | 显示全部楼层
四川的达科特业绩比较好
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 楼主| 发表于 2010-8-23 11:25:35 | 显示全部楼层
有没有哪个大学和研究机构搞这个的呀?
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发表于 2010-8-23 18:05:34 | 显示全部楼层
多晶硅氯气脱水最终要求达到的指标是多少?
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发表于 2010-8-24 10:26:12 | 显示全部楼层
还有其他方法吗?
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发表于 2010-8-24 16:44:52 | 显示全部楼层
一般水含量要求在10ppm以下!
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