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硅烷除杂问题

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发表于 2010-8-25 21:19:24 | 显示全部楼层 |阅读模式
质谱检测硅烷中含有5%左右HCL及痕量SiHCl3和SiH2Cl2,用什么工艺可以除去?
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发表于 2010-8-26 08:15:39 | 显示全部楼层
5%左右HCL,含量还是比较高的,冷却和分馏
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