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三氯氢硅中B、P杂质组分存在具体形态

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发表于 2010-8-25 16:52:28 | 显示全部楼层 |阅读模式
都说三氯氢硅中B、P杂质主要以BCl3和PCl3的形态存在,这两种物质的相对挥发度(当然是相对三氯氢硅的),都挺大的,按说精馏应该很容易除去,但实际上除去这两种杂质还是相当困难的。所以很多人猜测B、P杂质可能以很复杂的形态存在,具体形态说不清楚,不知道有哪位高人研究过,可否赐教?谢谢!
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发表于 2010-8-25 22:09:33 | 显示全部楼层
回复 1# ahui2009
    我还没发现谁能把这个问题具体搞明白,自己多努力吧
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发表于 2010-8-26 00:01:40 | 显示全部楼层
部分以络合物的形式存在。另一方面,即便是三氯化硼和三氯化磷他们与三氯氢硅的沸点相差很多,但他们的蒸汽压总是存在的,所以靠精馏完全分离开是不可能的。
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发表于 2010-8-27 08:53:47 | 显示全部楼层
回复 3# zhangweicheng
还是没太搞明白,一种物质存在于混合物中,那就肯定有蒸汽压了,不是因为有蒸汽压才不好分离,是因为存在,所以有蒸汽压(分压)吧?
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发表于 2010-8-27 09:36:01 | 显示全部楼层
回复 1# ahui2009
    一些问题不能完全用理论来理解,物质浓度达到一定的纯度(3N)就非常难以分离,不论物质的物化性质差异的大小,大量的工业化生产分离提纯高纯物难度很大。
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发表于 2010-8-27 11:55:24 | 显示全部楼层
你能通过精馏达到ppb级别已经非常不错了,相对挥发度再大又能怎样
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发表于 2010-8-27 12:03:00 | 显示全部楼层
回复 6# maxwell_112
    在氯硅烷中B和P的存在形式非常多,而且有很多不稳定的络合物,当精馏过程中,这些不稳定的络合物受温度和压力的影响,会发生结构的变化,所以表现为三氯氢硅中,以B和P存在的朵质难以除去。
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发表于 2010-8-28 01:02:00 | 显示全部楼层
大家说的很对,本来含量就已经很低,再怎么也不行!
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发表于 2010-8-28 16:31:25 | 显示全部楼层
关键还是浓度是问题,目前已经是PPM或PPB级的,当然是很难去除的
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发表于 2010-8-29 13:21:10 | 显示全部楼层
除杂就是一个难题啊,对于这些ppb级的就更是如此了,这是物性数据的影响相对来讲也就小了很多了!
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