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副产物四氯化硅的利用

发表于 2010-8-10 17:11:28 | 显示全部楼层 |阅读模式

副产物四氯化硅的利用

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发表于 2010-8-10 23:01:21 | 显示全部楼层

谢谢楼主，这几份资料很有参考价值，多晶硅生产过程中，四氯化硅的利用是考核多晶硅的重要指标。

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发表于 2010-9-5 12:59:34 | 显示全部楼层

谢谢楼主，，氯氢化是是以徐州中能硅业公司为代表，
3SiCL4+2H2+Si+3HCL→5SiHCL3

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