求各位大侠给我说说多晶硅生产中涉及和应用的塔器！~~~

求各位大侠给我说说多晶硅生产中涉及和应用的塔器，最好给我一些相关的资料。先谢谢各位了。

主要是各种规格的精馏塔，在尾气回收部分用到吸收塔、解析塔、吸附塔。还有就是一些高温、低温的换热器。

有的硅烷法，不经过TCS，别的方法制备硅烷，没有这么多塔器，只有硅烷精馏塔和一些溶剂精馏塔。