多晶硅检测项目有多少？

发表于 2010-9-17 16:46:25

在多晶硅的各项指标中，都有什么检测指标啊？都需要什么设备？

发表于 2010-9-17 22:03:06

主要有GC、FTIR、ICP-OES、ICP-MS、UV等，有的要配置一些物性检测仪如P/N型测试仪、电阻率仪、少数载流子寿命测试仪等，也有可能要配硼检炉和磷检炉。具体要看你们的工艺及产品要求了。

发表于 2010-9-17 22:51:56

回复 1# ylmls
谢谢啦

账号		自动登录	找回密码
密码			立即注册