氢气、氮气冷却还原炉硅芯哪个效果好？

发表于 2010-8-22 10:18:53

今天在坛子里面看到有人问，在氢气气氛下启炉容易倒棒，我想是否是因为氢气冷却效果没有氮气效果好的原因，学习不好，不知道该怎么算哪个的冷却效果好，请知道的朋友告诉一下计算方法
其实对于刚启的硅芯来说如果容易出现倒棒的原因其实有很多，如加载电流、冷却气体流量、卡瓣等都可能影响硅芯

发表于 2010-9-20 16:37:42

在氮气气氛下启炉，不怕产生氮化硅吗？

发表于 2010-9-20 21:01:23

氢气条件下启动应该比较稳定氢气燃烧能够提供足够的温度而氮气不能

发表于 2010-9-20 21:52:44

3楼这位大哥,你也太牛了吧？？？？硅芯启动的时候氢气还燃烧？？？？？？？可别吓唬我哦，启动前可是要用氮气置换干净炉内的空气，再用氢气置换炉内氮气，然后才是启动，哪里还有氢气燃烧哦,要真可以燃烧的话那恐怕就是爆炸了哦。。。。

发表于 2010-9-20 21:56:16

多晶硅是以氢气状态下启动的，不是氮气

发表于 2010-9-22 10:38:57

回复 3# 453305634
理论上应该多学习一下哦

发表于 2010-9-22 19:27:28

谁有详细的开车程序的，麻烦传上，谢谢

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