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停炉裂棒的讨论

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发表于 2009-5-2 21:21:17 | 显示全部楼层 |阅读模式
在还原生产中
如果改变工艺参数进行生产后,而停炉步骤不变的前提下
停炉经常会发生裂棒、倒棒的事情(
改变前不裂棒

这说明什么问题呢
一、硅棒长的比较疏松?(
为什么会疏松

二、停炉时棒温较高?
三、······?

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发表于 2009-5-3 08:35:17 | 显示全部楼层
你是中硅的吧
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发表于 2009-5-5 12:24:28 | 显示全部楼层
柱状晶生长长度不够  还是温度梯度和冷却速率不到位
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发表于 2009-6-30 20:17:53 | 显示全部楼层
什么参数变了,只能看变的参数重要不,怎么变的?
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发表于 2009-6-30 20:58:46 | 显示全部楼层
倒棒跟长得疏松并没有很直接的关系
长得疏松是因为生长温度低了,长出了非晶硅层,非晶硅是疏松结构,当然这种疏松层多了,会导致倒棒
但是倒棒的主要原因是棒出现裂痕
出现裂痕的主要原因有两种
一种就是停炉降温过快,由于内部应力的关系使棒出现裂痕
另一种是在生长过程中温度、压力和进料各参数不够优化而导致在棒径达到一定程度后,由于内部应力出现不均衡,产生裂痕,这些裂痕造成棒内部缺陷,在停炉时可能扩大而倒棒
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发表于 2010-9-24 15:47:02 | 显示全部楼层
5楼说的好像有道理哦。
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