大化工论坛

 找回密码
 立即注册

QQ登录

只需一步,快速开始

微信登录,快人一步

手机号码,快捷登录

手机号码,快捷登录

开启左侧

有没有讨论下影响硅棒表面菜花的解决办法

[复制链接]
发表于 2010-9-26 15:33:55 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅沉积速度太快时,硅棒表面容易生长为菜花状,缝隙深度较大时,给后续的清洗工作带来困难,大家讨论下解决办法,有加喷嘴的,加了后是否会带来其他的不好的效果
回复

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册 |

本版积分规则

QQ|Archiver|手机版|小黑屋|大化工论坛 ( 鲁ICP备12015736号-12 )

GMT+8, 2024-12-28 19:47 , Processed in 0.046047 second(s), 25 queries .

Powered by Discuz! X3.4

Copyright © 2001-2023, Tencent Cloud.

快速回复 返回顶部 返回列表