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还原炉在开车时倒棒

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发表于 2010-4-7 22:46:10 | 显示全部楼层 |阅读模式
还原炉在开车时容易倒棒,具体是那些原因造成的,怎样控制,大家来讨论一下!
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发表于 2010-4-8 13:08:45 | 显示全部楼层
倒棒原因很多,但开车时倒棒的原因:1、硅芯本身就本有装好,2、预热时不小心碰到了硅芯,3、氮气置换时流速太高,把硅芯冲倒了,4、石墨夹头坏了。
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发表于 2010-4-8 17:00:01 | 显示全部楼层
楼上说的不错,补充一下
主要从三方面注意
第一是装炉的时候要固定好,特别是顶端的衡量桥接,尽量要牢固
第二是吹扫的时候,流量变化不能太剧烈,否则容易引起倒棒
第三是初期升高电流的时候不能太快,特别是在还没有通入TCS的时候否则会使硅芯熔断倒棒
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发表于 2010-4-8 20:48:22 | 显示全部楼层
主要两点:1 温度偏高;2 汽流不稳波动大吹倒
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发表于 2010-4-9 09:29:00 | 显示全部楼层
硅芯长度太长的话吹歪的可能性比较大,也有可能是硅芯本来就是歪的,不过最有可能的还是石墨卡座没卡紧
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发表于 2010-4-12 11:54:41 | 显示全部楼层
我遇到最多的是击穿后电流太高,达到了硅芯的熔点,导致倒棒;还有像气流变化太快,安装不平直叶是常遇到的原因。
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发表于 2010-4-12 14:57:48 | 显示全部楼层
楼上说的都有理,我们也碰到开炉没多长就倒棒 ,分析各种原因后,竟然是硅蕊本身的问题。
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发表于 2010-4-12 19:43:30 | 显示全部楼层
我个人认为有以下几点上注意能有效避免倒棒
1 还原炉气体分布装置,造成还原炉内气体分布不均的一个主要原因为还原炉设备本身的进、出气分布装置所特有的设计缺陷
2 硅芯长度及质量
3 还原炉系统测控装置,其中最主要的是还原炉的温度测量控制系统
4 硅棒安装过程存在问题
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发表于 2010-5-29 09:57:41 | 显示全部楼层
我认为有几点可能会造成倒棒
1,炉体本生设计的问题,在进料和出料口的设计上,当进料和出料不平衡时很可能会造成气流冲击波,冲击硅芯,以至于倒棒,只是还原炉本身的设计问题
2,硅芯本身的质量问题,在拉硅芯的时候,如果拉的比较细或者上下部均匀,在装炉后很肯能会倒棒
3,装硅芯的时候硅芯本身装的没垂直,着一定很好理解
3,在用氮气置换空气,用氢气置换氮气的时候,当两种气流进行交接的时候,会产生一个细微冲击波,当波力足够时候,很有可能倒棒
4,温度控制的不好,太高很可能将硅芯烧融以至于倒棒
5,当高压启动时候,由于电压太大,本身会产生一个冲击振动,无疑会对脆弱的硅芯以打击,造成倒棒
不知道我的回答你满不满意,听说现在有人克服了倒棒这个另所有还原人都头疼的问题,已经申请了专利
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发表于 2010-5-29 12:24:53 | 显示全部楼层
倒棒的原因有很多
1、刚启动时电流过大,根部发软。
2、硅芯倾斜
3、进料时通料过猛,硅芯吹歪
4、硅芯粗细不均匀,细的地方烧熔
6、前期倒棒很多是因为石墨卡瓣质量不过关、硅芯装的不直、电流加的太快熔断、横梁搭接不好
7、运行中倒棒很多时候是与工艺和还原炉设计有关,如运行过程中温度控制不好,混合气进料控制不好,还有就是炉筒水温控制不好导致硅棒外圈偏向里面生长而导致重心偏移
8、硅棒太长也容易倒棒,国内一般都不超过2.5m
9、启动是高压产生的磁场不平衡,
加上进料的速度和阀门的流量曲线与硅棒的震动不能互消。
炉内的磁场主要由炉子决定,也就是由厂家的生产设备的技术研究水平决定的。
10、一个该开炉的时候或开炉后不久,造成的主要原因主要是安装硅芯的细节控制问题,方面比较多,可以自己摸索比较简单不多说;还有就是打压电流过高造成的熔断,多注意检查夹瓣和硅芯的接触情况还有横梁的接触情况,多注意问题不打;
还有一个就是反应到了中后期由于玉米花过深造成局部电流密度多大造成的倒炉,这比较可怕,后果很严重,对设备和电气都有很大的破坏性,可以从前期的多晶硅生长控制抓起,避免形成爆米
11,启炉时是用氢气启,还是氮气启动,用氮气很容易启成功,用氢气很容易倒硅芯
12,生长阶段硅棒生长不好,关键部位如根部和横梁没有长好的话,也很容易倒
13,,生长阶段硅棒生长不好,关键部位如根部和横梁没有长好的话,也很容易倒
温度高的原因有电流大、进料少、根部接触不好,打火等。要防止倒棒,最根本的措施就是严格控制温度,不要超过1150度
多晶硅还原炉的操作规范
1.装入硅芯,调校位置
2.关炉
3.进行打压测试,确保无漏气,安全阀检测。
4.检查循环水流速,压力
5.检查导热油温度,压力
6.抽空,送气15分钟以上,打开安全阀
7.确保压力在0.3Mpa
8.加电预热.
9.温度上升后控制气体流速,摩尔比。
10.调整电压,控制温度在1050°左右。
11.观察仪表检测出的尾气分析数据,并做出适当的调整
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