目前三氯氢硅尾气回收的先进技术

讨论一下目前三氯氢硅尾气回收的先进技术

来自冷凝器的不凝气体含SiHCL3 15%，H2 60%，N2 5%, HCl 20%,经隔膜式压缩机加压后再经水冷器、-35℃冷凝器回收，这时尾气成分为SiHCL3 1%，H2 69%，N2 7%, HCl 23%,再经有机溶剂喷射吸收，回收全部硅烷后的气体经两级降膜吸收塔、填料吸收塔、喷射吸收塔吸收全部HCl气体，剩余的H2、N2经阻火器达标排放；喷射吸收回收的物料经回收精馏塔分离硅烷、溶剂，硅烷进入粗品槽，溶剂进入溶剂槽重复吸收

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    能具体介绍一下有机溶剂吗？