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化学气相沉淀理论

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发表于 2010-10-12 11:45:42 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅生产中运用的是CVD法,但没有接触过CVD理论,现在做都是在生产中摸索,感觉有点盲目,请问大侠们有没有化学气相沉淀理论方面的资料,急求!!!!谢谢
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 楼主| 发表于 2010-10-16 21:08:25 | 显示全部楼层
怎么都没人帮忙
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