还原-转化率与沉积速度

发表于 2010-10-21 21:18:38

还原-转化率与沉积速度是个矛盾，但最佳的值是多少呢?怎么控制，大家沟通一下嘛

发表于 2010-10-22 11:10:09

转化率与沉积速率之间没有必然关系。转化率说白了就是反应是否充分问题，也就是温度控制，混合气组分控制问题，炉子本身构造，气体流速导致的炉内气流场分布等问题；而沉积速率是沉积快慢问题，与硅芯起始直径，温度控制，气流量大小，流速等有关系。二者有关系，但不是直接成正相关或反相关关系的。

发表于 2010-10-22 20:23:18

回复 1# zybrong
提高温度，加大气量

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