原生多晶硅清洗的问题

现在有一批原生多晶硅，经过正常酸洗步骤后发现表面出现大面积发黑，用酸处理后效果不明显，现在做法是用碱洗。
但是考虑到损耗问题，想请问一下，这种黑色氧化物可能是什么东西，有没有更好的处理方法。

用酸洗后要立即用纯水冲洗干净，马上进行干燥并且不能暴露在空气中的。表面成黑色可能是已经氧化所致。

用酸洗后要立即用纯水冲洗干净，再用氮气进行吹扫除去水分后进行包装！