多晶硅生产过程中化学反应方程式？

发表于 2010-7-16 09:51:24

多晶硅生产过程中所涉及的化学反应方程式有哪些？请大家帮助!

发表于 2010-7-17 00:26:10

仔细研究下来有40多个，不过主要有几个：
SiHCl3+H2=Si+3HCl
4SiHCl3=Si+3SiCl4+2H2
SiHCl3=SiCl2+HCl
2SiHCl3=Si+SiCl4+2HCl
SiCl4+2H2=Si+4HCl

发表于 2010-7-19 01:26:39

其他还有那些呢？

发表于 2010-7-19 01:44:16

尾气处理：SIHCL+3H2O==H2SIO2+3HCL+H2 ;H2SIO3+2NAOH==NA2SIO3+2H2O ；HCL+NAOH==NACL+H2O 后外理酸洗：SI+4HN3O==SIO2+4N2O+2H20 ；SIO2+6HF==H2SIF4+2H2O

发表于 2010-7-19 01:51:32

这么晚了还没有休息啊，谢谢了！

发表于 2010-7-19 11:50:46

回复 5# wei8jun
休息随工作需要，随喊随到

发表于 2010-10-23 21:08:09

最主要的是还原反应和热分解反应。
SiHCl3+H2=Si+3HCl
4SiHCl3=Si+3SiCl4+2H2

发表于 2010-10-25 08:52:20

反应过程比较复杂，条件不同发生的反应也相应的不一样。

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