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各位高手,有没有什么好的办法来测量正在生长的硅棒直径。

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发表于 2010-10-16 22:15:06 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅在生产拉制硅芯的棒料时直径要求在45--50mm,有什么办法准确的测量硅棒直径?
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发表于 2010-10-17 10:04:44 | 显示全部楼层
好像暂时还没有吧,一般都是靠经验,看生长时间和电流。
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发表于 2010-10-17 10:31:25 | 显示全部楼层
可以在试镜上贴一个标尺,根据某一根特定的硅棒,反复校正。(最初是不准确的,出炉后看差错了多少,再把标记缩短或增长,最多三次后,就会很准确了)
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发表于 2010-10-21 11:40:00 | 显示全部楼层
你这样,用一只眼睛看,在玻璃上做一个尺子,云中相似三角形的原理来测量,很简单的。
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发表于 2010-10-21 13:45:24 | 显示全部楼层
最简单的还是找个里面的参照物,我选的石墨当参照物,看硅棒直径和石墨直径的差就能判断、
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发表于 2010-10-29 20:52:17 | 显示全部楼层
同意楼上,用石墨着为硅棒的尺寸是最好的参照

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发表于 2010-10-30 10:34:49 | 显示全部楼层
同意五楼的说法和石墨座比较!
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