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多晶硅表面生长出黑色毛刺

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发表于 2010-10-28 12:18:39 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位大虾,最近看到多晶硅生长出黑色的毛刺,将毛刺敲开发现里面有金属光泽,用单一的酸也腐蚀不了。
所以判定是硅的另一种形态,但这种硅是怎样形成的,形成的原因是什么,谢谢了
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发表于 2010-10-28 12:20:15 | 显示全部楼层
单一的酸是什么酸?
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 楼主| 发表于 2010-10-28 12:43:48 | 显示全部楼层
用优级纯的硝酸腐蚀了15分钟吧
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发表于 2010-10-28 13:17:08 | 显示全部楼层
问一下,用没用氢氟酸?
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发表于 2010-10-28 13:56:25 | 显示全部楼层
应该是无定形硅,形成原因可能是:H2:SiHCl3进料配比小或者是还原炉内温度变化或进料中有液体均会形成。具体原因根据实际生产情况进行判断。
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