多晶硅原料性子

氯化氢
分子式：HCl
分子量：36.461
密  度：1.639g/l
1atm下沸点：-85℃
物料性质：无色，有刺激性气味，易溶于水的气体。干燥状态下几乎不与金属反应。在含水或溶于水中其腐蚀性很强，与金属化合生成金属氯化物。

氩气
分子式：Ar
分子量：39.944
密  度：1.784g/l
1atm下沸点：-185.7℃
物料性质：惰性气体、保护气体。

硅粉
分子式：Si
分子量：28.080
堆密度：1280kg/m3
粒度范围：60～120目
金属硅纯度：≥98%
熔点：1416℃
物料性质：呈灰色金属光泽，性质较脆。

四氯化硅
分子式：SiCl4
分子量：169.2
液体密度：1.49g/l
气体密度：0.0003Kg/l
1atm下沸点：57.6℃
1atm下熔点：-70℃      粘度：0.33cp
物料性质：常温下纯净的四氯化硅是无色、透明油状液体、比重较大、有刺鼻气味。其化学性质如下：
（1）
易水解、潮解、在空气中强烈发烟；
（2）
易挥发、易汽化、沸点低；
（3）
易与氨作用生成浓雾；
（4）
毒性较小，为四氯化碳的1/2。

三氯氢硅
分子式：SiHCl3
分子量：135.4
液体密度：1.318g/l
气体密度：0.0055Kg/l
1atm下沸点：31.5℃
1atm下熔点：-128℃       粘度：0.29cp
物料性质：常温下纯净的三氯氢硅是无色、透明、挥发性、可燃液体，有较四氯化硅更强的刺鼻气味。其化学性质如下：
（1）
易水解、潮解、在空气中强烈发烟；
（2）
更易挥发、更易汽化、沸点更低；
（3）
更易制备、易还原；
（4）
易着火、易爆炸、着火点28℃，着火温度220℃，燃烧时产生氯化氢和氯气；
（5）
对金属极稳定；
（6）
其蒸汽具有弱毒性，与无水醋酸和二氯乙烯毒性程度相同。

导热油
YD-340蓄热载体。

堆密度：1280kg/m3
是否真实有效