原生多晶硅表面强电流

我们现在有一批原生多晶硅表面强电流的料需要处理。目前我们试过几种处理方法均不是很理想，洗完以后返工率都很高。然后我们正在考虑浸泡的方法处理。
但是浸泡处理是很费时费力的，在这里想请问一下各位前辈是否有一些更好的处理方法，希望能够不吝指教，谢谢。