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关于“硅油”的问题?

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发表于 2010-11-9 20:27:32 | 显示全部楼层 |阅读模式
收获硅棒后,会发现还原炉炉壁上沉积很多硅油,这个硅油到底是什么成分?对多晶硅生产会产生什么影响?可以用什么方案减轻或者消除影响呢?
大家可以谈谈自己的看法。
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 楼主| 发表于 2010-11-9 21:25:43 | 显示全部楼层
我随便说说,大家也给提提意见,有种说法是:硅油是聚氯硅烷,在常温下可以跟空气中的水分发生水解反应生成SiO2,可能会对硅芯表面造成污染。貌似只能经常洗钟罩啊。
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