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多晶硅还原的高压启动

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发表于 2010-11-11 17:27:57 | 显示全部楼层 |阅读模式
在高压启动的同时,对还原炉的温度有什么要求吗
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发表于 2010-11-11 17:37:25 | 显示全部楼层
原则上是,在工艺范围内,温度越高越好啊,容易击穿啊
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发表于 2010-11-18 19:44:32 | 显示全部楼层
温度低才高压启动,温度要是高就不用高压启动了。
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