三氯氢硅合成料层分布

发表于 2010-11-16 11:21:16

各位坛友讨论一下，如何判断三氯氢硅合成炉内料层情况!是高？是低？硅粉在炉内流化状态：硅粉分布密集？疏松？
还有，如果送气量压力、流量一定，加入硅粉，改变流化状态，受影响比较大的是床层高度还是硅粉密集度？
谢谢啊！

发表于 2010-11-26 11:12:28

HCL流量一定时，合成炉炉底和炉顶的压差即为硅粉层厚度

发表于 2010-11-26 13:48:56

反应器各段最好设置压力传感器，通过压差判断

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