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还原炉水系统探讨

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发表于 2010-10-28 21:31:50 | 显示全部楼层 |阅读模式
不知道是不是所有多晶硅生产使用的还原炉都是用90度来冷却钟罩,如果冷却水在进还原炉的时候低于90度时,带走的热量会增加,为了维持还原炉内温度必须提高电流,造成能耗增加,那为什么不把水温提高点,或者是用导热油来冷却呢?这个温度是根据什么条件来确定的,使用90度水有哪些好处,请大家一起讨论一下吧!
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发表于 2010-10-29 08:52:37 | 显示全部楼层
90度是为了不沸腾。。。
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发表于 2010-10-29 20:10:11 | 显示全部楼层
用导热油冷却效果很好,缺点是如果炉筒漏的,会造成导热油进入还原炉,对多晶硅产品质量影响较大。用90度水冷却的话,目的是让水不沸腾。
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发表于 2010-10-31 21:58:27 | 显示全部楼层
不一定吧,压力增加的话那就不会沸腾,除非你冷却水是在常压下使用。
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发表于 2010-11-1 05:28:41 | 显示全部楼层
冷却水加压就可以提高温度了
具体选择多少度还是应该根据还原炉设备的参数来定
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发表于 2010-11-2 11:07:27 | 显示全部楼层
90度太低了 应该只有为数不多的几家在用 是不是你们的系统里只有这么高的水
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发表于 2010-11-2 15:15:30 | 显示全部楼层
有些还原炉的地盘垫片处的冷却水进出口用的是十五的管子,这样水流量小,导致那里的水温度升的比较高,再在炉顶与钟罩水混合后会出现震动和响声,所以进水温度就必须地底。所以采用90℃进水。带走大量的热。
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发表于 2010-11-8 21:41:23 | 显示全部楼层
温度高些,再闪蒸,蒸汽是不是可以发电?
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发表于 2010-11-10 20:48:11 | 显示全部楼层
现在大多用的是130度的水 闪蒸出蒸汽 热能综合利用
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发表于 2010-11-30 14:40:19 | 显示全部楼层
现在炉筒夹套的冷却水好像都是用130℃左右吧
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