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VGR尾气回收吸附系统的技改

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发表于 2010-12-2 22:25:43 | 显示全部楼层 |阅读模式
  现我们VGR尾气回收的吸附系统都是采用用电加热器将氮气加热至250度对吸附饱和的吸附柱活化,活化完之后再用用氟利氨深冷的氮气降温至吸附的温度,之后还要用回收的冷氢气对吸附柱内的氮气进行置换。这样从在很多问题:1.氮气在吸附柱内会累积,不可避免的回收氢中会含有微量的氮气,对多晶硅的沉积不利;2.用回收氢气置换氮气花费的氢气量大,时间长;3.用氮气再生‘降温浪费的氮气多(而且氮气的需求纯度高)排出的废气不能回收利用,只能排至淋洗,加大了原料的浪费和淋洗的负荷
  我觉的我们不妨试一试用氢气替换氮气,这样我们可对活化和冷却降温的氢气回收并入吸收系统,我们只需增加一台小型压缩机将活化的氢气加压送入系统即可,只要顺空能够实现吸附柱有连续的活化操作,提供不断地气源即可!这样将节约成本,节约原料,而且实现真正的闭路回收!
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发表于 2010-12-3 13:25:38 | 显示全部楼层
想法是好的值得表扬,但是真正操作起来比较麻烦。
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发表于 2010-12-4 08:49:04 | 显示全部楼层
建议楼主去了解下PSA的操作流程
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发表于 2010-12-4 11:35:38 | 显示全部楼层
这样的想法一点也不麻烦啊
建议进行改进,这样对降低生产成本很有利啊
我们设计上用的就是氢气反吹
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