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多晶硅生产中倒棒主要原因是什么

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发表于 2008-7-4 14:02:07 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅生产中倒棒主要原因有哪些?请赐教!
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发表于 2008-7-4 15:49:46 | 显示全部楼层
最可能的原因就是温度过高,硅芯熔化就倒了;要么就是没有安装对称、稳定,随着沉积量的不断增加,最终就倒了。当然可能还有别的原因吧!
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 楼主| 发表于 2008-7-5 16:18:55 | 显示全部楼层
但是,我们设定的温度并不高,硅芯与石墨夹头处有偏流(一边长一边不怎么长,而且无规律)。
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发表于 2008-7-5 17:12:26 | 显示全部楼层
江西LDK的吧,听说LDK倒棒
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发表于 2008-7-10 16:14:33 | 显示全部楼层
是不是进气分布不均,截面上各点气流速不同所致。
我也只是猜测而已,也想知道是不是这个原因。
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发表于 2008-7-23 11:42:05 | 显示全部楼层
没有说清楚在什么情况下倒棒的:1、硅芯的质量?2、生长到多粗时倒棒?3、技术参数等?具体情况要具体分析。
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发表于 2008-7-24 22:40:03 | 显示全部楼层
母棒没有选好,还有就是装的不正.
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发表于 2008-9-14 10:06:05 | 显示全部楼层
多晶硅倒棒的问题是多晶硅生产过程中制约多晶硅产量的主要问题,没有实际生产过的人没有话语权.
倒棒可能的原因很多,应该从多方面去考虑:   首先是硅芯质量原因.尤其是搀杂一定要均匀.其次看你的石墨卡件和硅芯要保持很好的欧姆接触.  装炉质量的保证.还有就是最好硅芯进行酸洗处理. 生产中进气要均匀.电流控制波动不能过大.温度尽量控制在范围内
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发表于 2008-9-15 21:41:56 | 显示全部楼层
1我们设定的温度太高,1130太高了,实际证明了这个温度太高,以前还是前24个小时倒,现在已经有8--14个小时的例子了,可以适当的降低一点温度,我人个认为1080就可以了,经外温度的测量位置实际温度大约比底盘的温度高40度左右,因此硅棒根部的温度大约为1040,这个时候的也比较适合根部的生长,在多晶硅生长的初期我认为是先稳定根部,同时注意横梁,我们要认识到温度在整个钟罩里的分布,也许你会问为什么7号炉也是这个参数却没有倒呢,我是从红外温度上分析这个问题,每个红外温度计都会有误差,如果说7号炉的温度计恰好差了几十度,就正好能说明我先前的判断是正确的,所以不是每一炉我们的设定值都是一个定值。
2安装硅芯的水平也是倒棒的因素之一,如果有一定较小的偏移就可能在加压的过程中产生较大的偏移,从而当沉积开始时随着重量的加大而不堪重负倒掉
3适当的降低初期的电流增长水平,每天的增加值不大于450A,也就是说我们TCS进料速度在初期还要调理降低
4一定要注意进料量的压力波动,TCS高压罐在7004过来时候压力是有波动的,所有我们在TCS高压罐的调节系统要尽快投用,
5一定要注意根部和石墨件之间的接触,避免亮点的产生
6509拉制硅硅芯的水平不应在只重视数量,我们宁愿在保证质量的基础上少出几炉,注意它的均匀参杂,酸洗等每一个环节。
7值此倒棒的频繁时期,指挥者更应沉着冷静,从纷繁的原因中找到答案!

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发表于 2009-4-29 16:29:54 | 显示全部楼层
可以说引起还原炉倒棒原因有很多,除了电流波动,还有哪些主要原因呢?
麻烦大家各抒己见!谢谢
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