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三氯氢硅合成控制参数

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发表于 2010-11-30 09:04:15 | 显示全部楼层 |阅读模式
大家来讨论一下流化床反应器合成三氯氢硅需要控制的参数有哪些?
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发表于 2010-11-30 09:21:11 | 显示全部楼层
三氯氢硅合成控制参数可分为:氯化氢预热压缩、烘粉及加料、反应及放空分离、洗涤、重组分回收、三氯氢硅贮存、导热油、热回收、尾气放空洗涤。。等众多系统控制参数
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发表于 2010-11-30 09:33:18 | 显示全部楼层
合成炉主要是反应的温度控制,不能太高,否则副产物的量太大
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发表于 2010-11-30 10:57:49 | 显示全部楼层
主要是温度,控制好循环冷却水的量
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发表于 2010-12-7 21:01:55 | 显示全部楼层
温度、压差、导热油流量、循环水流量、硅粉层厚度。
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发表于 2010-12-8 11:22:48 | 显示全部楼层
流化床反应的控制要点都一样。
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 楼主| 发表于 2010-12-9 08:50:04 | 显示全部楼层
回复 7# teresa_

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