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三氯氢硅合成炉开车

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发表于 2009-7-19 21:42:16 | 显示全部楼层
先用电加热或用导热油加热到325℃然后直接通氯化氢也可以,但氯化氢最好有个预热器,那样温度就不会下降那么多了,升温时不要通入氮气,那样会使升温时间延长的,多耗能量,
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发表于 2009-8-4 11:57:13 | 显示全部楼层
请问各位楼主,开炉前为什么要用N2来试压差?
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发表于 2009-8-4 13:49:57 | 显示全部楼层
请问各位楼主,开炉前为什么要用N2来试压差?
木易英子 发表于 2009-8-4 11:57

                                
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常规操作,呵呵,总不能用氢气来试吧
这个主要要看各个部位是否有漏气和堵塞现象
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发表于 2009-8-4 11:57:00 | 显示全部楼层
请问各位楼主,开炉前为什么要用N2来试压差?
木易英子 发表于 2009-8-4 11:57

                                
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还有就是检修开炉后,炉内是空气,所也以需要用氮气置换,同还原炉开车类似
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发表于 2009-8-4 20:06:45 | 显示全部楼层
请问各位楼主,开炉前为什么要用N2来试压差?
木易英子 发表于 2009-8-4 11:57

                                
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这个论坛可以学到很多知识,有空多留意。
另外关键还是要根据操作现场判断问题。
要学会自己分析问题,总结问题。
现场一定要自己去看。
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发表于 2009-8-4 11:57:00 | 显示全部楼层
升温过程通氮气不是为了检漏、检堵或置换。试压是为了知硅粉层高度。我猜测主要是为了保证在流动场加热,避免因局部过热而影响温度判断错误(虽然我弄了一年多的合成,好多还是一知半解,汗~~)。
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发表于 2009-8-8 10:20:24 | 显示全部楼层
我们是用的电加热,不是用的氮气加热。
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发表于 2009-8-4 11:57:00 | 显示全部楼层
楼主说的N2加热是不是写错了?都是电加热呀,你是想说加温的时候充入N2吗?我真的想知道为什么要充入N2呢?只是为了试压,置换?试漏作用吗?
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发表于 2009-10-17 20:16:20 | 显示全部楼层
可以算电加热,楼主是用电加热氮气,氮气再对合成系统升温
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发表于 2010-3-23 16:26:34 | 显示全部楼层
氮气加热可以,在反应以后有问题升温怎没办。
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