请教一个关于硅心的问题

发表于 2010-12-16 11:15:10

小弟新入行，想请问一下在多晶硅生产过程中，硅心中的杂质主要有哪些，谢谢

发表于 2010-12-16 13:26:18

硅心杂质种类也比较多，不过大都为ppb级，根据扩散理论进行区熔，杂质主要集中在硅心两端以及表面，通过腐蚀，基本可得较纯的产品。B、p、c基本都有

发表于 2010-12-17 14:30:55

B、p、c基本都有，那么有S吗？

发表于 2010-12-17 15:55:27

S哪里来的，还原炉中应该没有过程会引入吧，我们昨天发现硅心处有好多Si3N4，初步判断是还原炉气体置换时的氮气没有排干净

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