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影响四氯化硅氢化转化率的因素?

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发表于 2010-5-27 13:32:22 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 duojinggui999 于 2010-5-27 13:36 编辑
多晶硅的暴利时代已经成为过去,相对生产成本大大增加了。为了降低成本,各地的多晶硅厂家都在搞氢化。我们厂可能是国内搞得比较早的几家之一,就目前的转化率有20%左右。影响转化率的因素主要有四氯化硅的纯度,混合蒸汽的配比,反应温度,压力,催化剂等方面。我们最初在催化剂着手,换过几种催化剂,其转化率由13%左右提高到20%。效果好了很多。那么,其他那些方面因素的改变对转化率的提高有帮助?希望大家多多交流一下。
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发表于 2010-5-27 16:42:55 | 显示全部楼层
你说的影响因素已经很详细了,建议楼主具体发散一下就好了,呵呵,没搞过氢化,关注中
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发表于 2010-5-27 17:48:30 | 显示全部楼层
流化床的结构形式对转化率也有影响的
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发表于 2010-5-27 22:37:00 | 显示全部楼层
冷氢化不懂,根本不了解
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发表于 2010-5-28 09:31:14 | 显示全部楼层
催化剂不是决定因素,REC都可以不用催化剂
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发表于 2010-5-28 10:01:54 | 显示全部楼层
影响热氢化的主要因素我认为有这么几点
1,四氯化硅和氢气的配比量,我想这是关键
2,转换的温度,也很重要
3,氢化炉里德压力也是一点
4,在转换为气体的出口的降温也是必要的,能有效的控制逆反应,必要的时候可加如一定量的TCS
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发表于 2010-12-25 19:47:56 | 显示全部楼层
那四氯化硅氢化转化率怎么算啊?
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发表于 2010-12-27 21:46:27 | 显示全部楼层
在转换为气体的出口的降温也是必要的,能有效的控制逆反应,用急冷行吗??
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