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多晶硅中B,P的问题

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发表于 2010-11-10 15:10:26 | 显示全部楼层 |阅读模式
有一个很小白的问题想问一下,原生多晶硅中含的B、P是会在硅料的某一部分富集,还是大体上均匀的分布在整个的多晶硅中。
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发表于 2010-11-10 15:40:09 | 显示全部楼层
大体上均匀的分布在整个的多晶硅中。
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发表于 2010-11-10 18:50:57 | 显示全部楼层
应该是均匀的分布在整个多晶硅中的,
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发表于 2010-12-28 22:11:54 | 显示全部楼层
是最受关注也是最难控制的。
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发表于 2010-12-29 16:00:13 | 显示全部楼层
是均已的分布在多晶硅中,所以为了除去它我们一般采用两种方法一种是化学的方法,一种是物理的方法
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