精馏产品B、P比例对多晶硅N型电阻率的影响

众所周知，多晶硅的内在质量主要取决于精馏三氯氢硅和氢气，在满足各项杂质浓度要求的前提下，控制精馏三氯氢硅中杂质B、P比例为多少时多晶硅的N型电阻率最高？

产品中硼和磷差不多的时候（高补偿），电阻率很高。但是回溯到三氯氢硅中的硼和磷的比例，就需要知道B和P在沉积时候，各自的“转化效率”，即三氯氢硅中的含量和产品中的含量的对应关系。

回复 2# missyou4ever
    产品中B、P相当时，孔穴与电子补偿，测试得到的磷检电阻率会变型，虽然施主杂质浓度和受主杂质浓度都很低，但测得的P型电阻率特别高，而磷检却变为PN型。目前大部分多晶硅使用单位仍以N型电阻率和P型电阻率作为衡量质量的依据，PN型的多晶硅即使杂质浓度再低，他们也认为不合格，解释起来也太费劲。
    要想通过原料和过程控制，实现既定的产品质量，确实很复杂，我想这也是每个多晶硅人希望做到的，希望大家在实践**同努力，更希望大家能收获共享，共同提高。

硅中人是高手。因为没有做多晶硅后处理，对多晶硅最终质量不甚了解诶，一直想找个关于影响多晶硅质量的因素，来考虑三氯氢硅精馏，不知道能否赐教。我的邮箱是qingyanqi@126.com。谢谢。

回复 3# 硅中人
      看来你们是用基磷基硼法啊，我觉得你没必要给人家说是PN型啊，你一次成晶之后后面一段是P就报P,是N就报N撒，分级标准上只是规定是施主受主的含量，他们拿去拉单晶还不是就看看提肩电阻率，这招对高补偿的就失效了。提肩电阻率高是产品好的必要条件，而不是充要条件。难道来买料的都不带懂技术的跟着出来？现在硅料这么紧张，上游硅料厂有主动权啊，下游买料的，不太敢挑啊，急了，爷还不搭理了呢，哈哈。
      另外，我觉得现在产量没个两三千吨都拿不出手啊，你们配台低温红外嘛，拉一次单晶B/P就都知道了，不然硼检太恼火了，你们一天能硼检几炉啊？像我们多的时候一天5-6炉，要求第二天出结果，没低温红外，那得多少人拉单晶啊。。我觉得低温红外还是有必要的。至于三氯氢硅中的P/B和最终产品中的P/B的对应关系，不是一般人能搞定的，因为不是谁都能接触到从原料到产品全部的数据。要是能接触到，做大量的统计，也不是什么不可能完成的任务。哥们，如有可能加我qq，咱们有机会交流下。我qq号用用站内短消息发给你哈。

楼上明白人呀。这一点对于普通的化工人的确有难度。