硅棒易产生裂缝的原因及解决办法？

发表于 2010-12-27 16:48:44

现在因追求还原沉积速率，但是往往发现硅棒有较深的裂缝，请问在保持较高沉积速率时，有哪些产生裂缝的原因及如何解决呢？

发表于 2010-12-28 15:46:54

既然要最求高的生长速度
那么爆米花是不可能避免的

发表于 2010-12-28 15:47:21

如果是太阳能级用的话
无所谓

发表于 2010-12-28 23:16:21

可以研究一下你们的喷嘴可以有效使上部的爆米花部分减少

发表于 2010-12-30 02:24:01

回复 4# 游离在乍浦
有没有好的喷嘴设计？

发表于 2010-12-31 09:58:12

回复 5# hmc54
根据棒子出炉后的形态我们也在尝试探讨

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