三氯氢硅中硼磷含量的检测

三氯氢硅中硼磷含量的检测,现在用什么方法？
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-4-2 13:16 编辑 ]

用ICP-MS检测，现在的方法保密，一般看不到的。

http://www.csot-mag.com/article_display.asp?id=992
可以参考一下的。
一般情况下，是测定硅中的硼磷吧。三氯氢硅中是以什么形态存在的呢？

采样出来是液态

你说的应该是采出来的三氯氢硅是液态的。
上面的说错了，我想问的是硼磷已什么化合物的存在，看看能不能有别的方式测定。
GDMS和SIMS从资料上看，是可以测定的，检测限都在1ppb或以下。不过有这两种仪器的的公司恐怕不多。

各位大侠，有没有人告知三氯氢硅中硼含量的测定方法以及测量设备，具体价位是多少，恳请帮助

原帖由 hanshan 于 2009-1-23 15:52 发表
                                
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各位大侠，有没有人告知三氯氢硅中硼含量的测定方法以及测量设备，具体价位是多少，恳请帮助
有几种方法检测，其中有两种可处理后用ICP或ICP-MS，一种用红外，这几样都比较贵，上百万的代价，还有种就是硼检也是价格不菲。没那么便宜就得出那么微量的杂质含量的，何况是三氯氢硅中的。有些未必要得出准确 的含量，只要给工艺做个对比，参考做好调整就可以了。

用ICP-MS，如果需要资质的话，请联系天津的信息产业部电子材料检测中心。

利用分光光度计也可以测定,主要用到姜黄素等

在测高纯三氯氢硅中的硼时，总是出现空白值比样品的测定值是怎么回事啊？有没有哪位高手指点下，比如我们的方法空白溶液中硼是0.7ppb，但是我们的样品总是出现低于0.7的值