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三氯氢硅合成炉预热问题

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发表于 2011-1-10 11:45:54 | 显示全部楼层
电感加热,中频炉,效果还可以
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发表于 2011-1-12 08:49:22 | 显示全部楼层
比较高效安全的远红外加热
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发表于 2011-1-13 17:23:01 | 显示全部楼层
电感、导热油、氮气的都接触过,我认为还是电感的最好,但是现在好多家都做不了电感的,尤其是国内没有一家有防爆资质的,前段时间弄个硅粉干燥,找了N多家,就差在防爆上了。氮气的是效果最差的
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发表于 2011-1-14 09:07:48 | 显示全部楼层
在合成炉的预热器气体采用电加热器,同时在合成炉的表面也采用电加热,效果不错
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