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CDI回收氢质量问题

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发表于 2010-12-29 23:10:06 | 显示全部楼层 |阅读模式
CDI回收氢重含有氮气会影响多晶硅品质,
氮气的来源除了系统置换不彻底遗留下来的,还有哪些?
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发表于 2011-1-14 18:22:06 | 显示全部楼层
应该从还原来的啊.还原停开置换时置换压力比尾气压力高,氮气通过阀漏过去的啊
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发表于 2011-1-15 08:26:24 | 显示全部楼层
氮气在多晶硅中是会影响质量的,主要表现在参杂上面,PN,氮气一般来源于置换,和泄露。
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