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还原炉里面的黑色粉未是什么,怎么产生的?

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发表于 2011-2-10 10:36:46 | 显示全部楼层 |阅读模式
还原炉开炉时经常看到炉内有黑色粉未状物质,请教高手,是怎么产生的,又是什么物质,如何避免产生?
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发表于 2011-2-10 10:45:16 | 显示全部楼层
原料TCS中DCS含量太高,在还原反应过程中,DCS分解生成非结晶硅,颜色为黑色,如果将这种黑色粉末在太阳光下,可以看见银白色,实质上也叫硅,只不过体积很小,如果降低原料中的DCS含量,则可以避免此现象的发生。
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 楼主| 发表于 2011-2-10 11:27:03 | 显示全部楼层
谢谢您的(沙漠一孤鹰)的回复,我估计可能是您说的那样,出现这些黑粉之后,我们的炉子运行过程中接地的频率就多起来了,DCS量我们没法降低,请问调整进料TCS和H2的摩尔比是否可以减少黑粉,或有没有其它方法?
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发表于 2011-2-10 13:29:43 | 显示全部楼层
或许是生产过程中温度控制不当和TCS进料量的波动产生的硅粉。
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发表于 2011-2-10 15:32:14 | 显示全部楼层
如果是2楼朋友说的那样是DCS分解的非结晶硅的话,应该不会造成你炉子生产过程中的接地故障,所以我怀疑是你石墨座的石墨质量问题,灰粉太重造成的,石墨粉掉在底盘上面肯定会降低电极的绝缘而产生接地故障。
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发表于 2011-2-10 16:39:31 | 显示全部楼层
主要跟温度有关,还有电压,流量
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发表于 2011-2-10 16:39:38 | 显示全部楼层
主要跟温度有关,还有电压,流量
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发表于 2011-2-10 23:23:00 | 显示全部楼层
我也认为是你们的石墨质量的问题,可能是灰分没有除尽导致,使得你们的接地出现
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发表于 2011-2-11 12:15:48 | 显示全部楼层
石墨夹具出问题的,质量问题
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发表于 2011-2-11 17:32:51 | 显示全部楼层
温度偏低造成的无定形硅,色黑,散落在地盘上硅棒表面。温度较高也可以在石墨表面和电极表面引起绝缘性下降
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