改良西门子法生产多晶硅的尾气回收工艺流程

多晶硅生产中还原工序产生的尾气回收及四氯化硅的转化是多晶硅生产中大家一直关注的问题,所谓改良西门子法的关键技术就是尾气的回收和四氯化硅的转化.尾气回收已有比较成熟的技术,国内已建成的多晶硅生产线均有此装置,只是运行情况不一定很好,其次是四氯化硅的转化,有两种工艺,一种是清洁工艺,也就是高温低压法,转化率只有十几,且能耗较高,材料问题比较难解决,单台设备生产能力较小.另一种是氢化氯化法,加氢气及硅粉进行转化,温度较低,只有500度,压力较高.转化率较高,能达到28%,能耗较低,单台设备生产能力高,1500吨/年生产装置有一台转化炉就可满足生产要求.至于四氯化硅直接生产多晶硅,这是一种已有的工艺,是瑞典技术,只是电耗较高,单耗达400度/公斤多晶硅,现已淘汰, 氢气回收技术虽已成熟且为多家国内生产厂家所采用,但要运行好,真正达到还原尾气的回收利用,不是一件简单的事情,否则国内多晶硅生产厂也不会出现四氯化硅污染的事件,多晶硅行业的朋友还要努力,为中国的多晶硅事业的振兴面努力.

1、 四氯化硅用氢气还原生成三氯氢硅的工艺包括：冷氢化和热氢化，但方法都不大成熟，运行成本太高，没有经济效益  2.四氯 化硅转化为气相 白炭黑是个很好地选择，前景也不错。

用四氯化硅、氢气还原生产多晶硅
四氯化硅用氢气还原生成三氯氢硅再做多晶硅
那一个的能源消耗大？
看来还是四氯化硅、氢气生成三氯氢硅再做多晶硅合适些吧
那就应该找一条提高四氯化硅转化成多晶硅的经济路线

我看很多人都鼓吹用四氯化硅直接再生产多晶硅  不知道你们有算过四氯化硅的生产多晶硅的成本 以及四氯化硅生产多晶硅的转化率及尾气处理么？

我看很多人都鼓吹用四氯化硅直接再生产多晶硅  不知道你们有算过四氯化硅的生产多晶硅的成本 以及四氯化硅生产多晶硅的转化率及尾气处理么？
hr6516 发表于 2009-7-23 17:23

                                
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生产多晶硅薄膜，很多用四氯化硅呀...

CDI 工艺感觉很受天气影响。尤其是在夏天，制冷机的负荷很重，直接影响产量。冬天就会好一点。不过冬天精馏很受天气影响。
在还原的副产物中二氯二氢硅最难处理。它的沸点是8.2°C。最难处理。就连焚烧也很危险！四氯化硅虽然转化率低，但是可以多建几套率氢化，积累经验，在改进。

SIH2CL2直接回还原炉，它的沉积速度比SIHCL3还快

17# zhangwh
H2SiCl2进还原炉有个最佳量吧？

我们厂精馏所有塔尾气经过冷凝器后液体进入合成进料槽；气相到三废处理；主要用石灰乳中和。对环境无任何污染。

楼上是浪费，应该尽量实现闭路循环，降低物耗