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三氯氢硅精馏中除硼床应用效果讨论

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发表于 2010-12-8 08:00:56 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位坛友,你们有用过除硼床去除三氯氢硅中硼吗?效果怎么样?有什么优缺点?
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发表于 2010-12-19 00:51:58 | 显示全部楼层
硼床除硼,可简化精馏,减少二氯二氢硅损失,保证多晶硅产品的质量,是发展方向。
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发表于 2010-12-19 07:57:03 | 显示全部楼层
硼床除硼,可简化精馏,减少二氯二氢硅损失,保证多晶硅产品的质量,是发展方向。
hbzhy1 发表于 2010-12-19 00:51

                                
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楼上能把工艺说得详细点吗?充分交流,共同学习,共同进步。
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发表于 2010-12-19 00:51:00 | 显示全部楼层
除硼床里面是除硼树脂吗,根据鳌合原理,请高手解答啊
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发表于 2010-12-20 14:50:25 | 显示全部楼层
除硼树脂比较危险,使用时要慎重。
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 楼主| 发表于 2010-12-20 15:23:41 | 显示全部楼层
回复 4# hht666
   只听说,没见过,不知道什么原理。
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 楼主| 发表于 2010-12-20 22:15:05 | 显示全部楼层
回复 5# mao12345
    请问  你们用过吗?效果怎么样?
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发表于 2010-12-21 11:20:53 | 显示全部楼层
看不太懂呢,楼主能讲明白点吗
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 楼主| 发表于 2010-12-21 15:15:56 | 显示全部楼层
回复 8# xxj20003000
    我也没见过,我们单位准备上的设备
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发表于 2010-12-21 18:14:48 | 显示全部楼层
你是那个公司,上了效果给我们讲讲!!
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