多晶硅生产中的检测设备

不知有没有做质检方面的TX，请教一下在整个工艺中会用到哪些检测仪器呢？比如对多晶硅纯度要求动辄上10个9的，用什么检测？还有TCS，纯氢气这些。气相色谱？核磁共振仪？电导仪？。。。。。。。

回复 1# van@46.8
    您好，可以说详细点吗？
我们在线检测实验室主要是能对液体的密度/浓度，聚合率，粘度（聚合度），比值控制，分层介面，间歇反应终止时间等方面通过软测量以及数据挖掘等技术手段进行在线实时的连续检测。软测量技术，也称软仪表技术，根源于推理控制中的推理估计器，即采集某些容易测量的变量（也称二次变量或辅助变量），并构造一个以这些易测变量为输入的数学模型来估计难测的主要变量（也称主导变量）。从而为过程控制、质量控制、过程管理与决策等提供支持，也为进一步实现质量控制和过程优化奠定基础。

回复 2# 明液科技
    谢谢您。我找了一些关于多晶硅生产工艺的资料，但是都很少提到各个环节原料及产品的检测和监测，尤其仪器这块儿，所以，想要了解一下。我猜测的GC和MS会用到，但具体就搞不懂了