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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 三氯氢硅尾气大的原因
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三氯氢硅尾气大的原因

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发表于 2011-2-18 10:16:18 | 显示全部楼层 |阅读模式
想请教：三氯氢硅尾气大的原因是什么？
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发表于 2011-2-18 10:21:22 | 显示全部楼层
意思没描述清楚，是不是指TCS合成，还是还原尾气
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 楼主| 发表于 2011-2-18 11:29:40 | 显示全部楼层
回复 2# rhk2009
    三氯氢硅尾气大的原因
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发表于 2011-2-18 22:42:44 | 显示全部楼层
回复 1# abcsxg
    表达不清楚，不明白你的意思！
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发表于 2011-2-19 13:57:48 | 显示全部楼层
可能是反应的不好
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发表于 2011-2-19 16:56:20 | 显示全部楼层
硅粉反应不好，总体讲是硅粉活性差
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