关于还原炉副产物的问题

发表于 2011-2-21 14:19:53

我们单位的尾气回收系统内的SiH3Cl含量一段时间内曾经达到10%，请问在这种现象与还原炉温度控制与进料比有什么直接或间接的关系么，SiH3Cl的含量控制在什么样的范围内是比较正常的？

发表于 2011-2-21 23:05:32

不晓得楼主的转化率是多高，理论上讲温度越高，转化成的四氯化硅越多。

发表于 2011-2-21 23:24:30

具体还要看看怎么控制工艺条件

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