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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 沉积时间的划分
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沉积时间的划分

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发表于 2011-2-19 13:04:12 | 显示全部楼层 |阅读模式
在硅棒沉积的过程中前期、中期、后期是怎样划分的，各个期间的温度该怎样控制？
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发表于 2011-2-20 10:43:12 | 显示全部楼层
楼下的回答，[img][/img]
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发表于 2011-2-21 13:46:49 | 显示全部楼层
总体而言温度是缓慢下降的
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