多晶硅的设备

还原炉：TCS与H2反应，生产多晶硅产品的设备，一般由钟罩、底盘、电极组成；
氢化炉：STC与H2反应，生成TCS的设备，和还原炉外形相似，一般由钟罩、底盘、电极、发热体组成；
蒸发器：TCS、STC用蒸汽加热蒸发的设备；
TCS合成炉：硅粉与HCl反应，生成TCS的设备。